Самоподобие тока при микроплазменном пробое полупроводниковых структур

Язык труда и переводы:
УДК:
538.915
Дата публикации:
27 ноября 2022, 15:54
Категория:
Перспективные направления исследования необратимых физических процессов
Авторы
Шашкина Антонина Сергеевна
Военная академия связи имени Маршала Советского Союза С.М. Буденного МО РФ
Аннотация:
Представлены результаты исследования вольтамперных характеристик и осциллограмм микроплазменных импульсов лавинного пробоя p–n-перехода. На основании последних определены распределения импульсов по длительности. В результате показано, что микроплазменный шум обладает свойством самоподобия. Разработана классификация типов лавинного пробоя. Выявлена корреляция между фрактальной размерностью микроплазменного шума и структурными неоднородностями функциональных полупроводниковых структур.
Ключевые слова:
лавинный пробой, микроплазма, p–n-переход, самоподобие
Основной текст труда

Введение

Процесс ударной ионизации, приводящий к лавинному пробою p-n-перехода, неразрывно связан с образованием микроплазм.

Основным признаком микроплазменного пробоя является обратный импульсный ток через p-n-переход в режиме лавинного пробоя, имеющий случайный характер.

К настоящему времени существует несколько теорий о механизмах поставки носителей  в область микроплазмы, такие как: диффузия запускающих носителей из базовых областей, термическая генерация носителей из области пространственного заряда, туннелирование с глубоких уровней. Аналогичная ситуация и с решением вопроса о причинах прерывания лавины. В основном отдается предпочтение причинам, связанным с саморазогревом микроплазмы.

Исследования, посвященные анализу временного и частотного распределения импульсов тока при лавинном пробое, проводились в 50–80-е годы XX в. [1–4] и не подтверждаются современными экспериментальными данными [5–7], которые показывают, что обратный ток носит не только случайный, но и самоподобный характер в разных временных масштабах. Самоподобие есть свойство при котором фрагмент временного ряда при масштабировании слабо меняется по структуре.

Методы исследования

Были проведены исследования функциональных полупроводниковых структур на основе фосфида галлия (GaP) в режиме электрического пробоя. На полупроводниковые структуры подавалось постоянное обратное напряжение (напряжение питания). Сигнал, получаемый на сопротивлении, соединенном последовательно с полупроводниковым диодом, усиливался и поступал на аналого-цифровой преобразователь (АЦП). Были сняты прямая и обратная ветви вольтамперной характеристики (ВАХ). Дальнейшая обработка сигнала с АЦП осуществлялась с помощью математического пакета Matlab. Для каждой точки вольтамперной характеристики записывалась осциллограмма импульсного тока — зависимость  напряжения, падающего на сопротивлении, соединенном последовательно с p–n-переходом, от времени.

Полученные результаты и их обсуждение

Полученные осциллограммы подтвердили самоподобный характер совокупности импульсов тока через обратносмещенный p–n-переход.

В качестве примера приведем осциллограмму полупроводникового диода на основе GaP (рис.1).

Рис. 1. Осциллограмма импульсного тока обратносмещенной полупроводниковой структуры на основе GaP с высокой фрактальностью

Было выявлено, что приборы такого типа обладают высокой фрактальной размерностью (примерно 0,75...0,92). Также были исследованы вольтамперные характеристики (ВАХ) данных структур и на прямой ветви (рис. 2) обнаружена туннельная составляющая избыточного тока при смещениях менее 1 В. Туннелирование обычно происходит в области протяженных дефектов и локальных неоднородностей состава. Кроме того, образцы, используемые для данного исследования, для получения красного свечения были легированы цинком и кислородом. Кислород, введенный в GaP, создает глубокий донорный уровень [8], поэтому туннелирование также может наблюдаться с этих уровней.

Протяженные дефекты же, как известно, являются чаще всего локализацией микроплазмы.

Рис. 2. Прямая ветвь ВАХ при лавинном пробое c высокой фрактальностью процесса

Образцы, обладающие невысокой степенью фрактальности (пример осциллограммы представлен на рис. 3), избыточные токи на прямых ветвях ВАХ не выявляли, что, в частности, может свидетельствовать об отсутствии скоплений протяженных дефектов в структуре.

На основании проведенных исследований был разработан алгоритм определения фрактальной размерности, положенный в основу классификации типов лавинного пробоя.

Также была разработана динамическая модель, позволившая выявить структуру временной последовательности импульсообразования лавинного тока и обосновать систематику микроплазменного пробоя.

В дальнейшем было установлено, что форма импульсов микроплазменного тока определяется соотношением вероятностей возникновения и развития лавинообразования (процессами транспорта носителей заряда в электрических полях), а выявленные фрактальные свойства определяются тепловыми процессами.

Выявлена корреляция свойств самоподобия с количеством дефектов в полупроводниковой структуре.

Рис. 3. Осциллограмма импульсного тока обратносмещенной полупроводниковой структуры на основе GaP с незначительной фрактальностью

Заключение

Нестабильность лавинного тока при микроплазменном пробое полупроводниковых структур демонстрирует свойство самоподобия, и как следствие, представляет интерес для фрактального анализа. В ходе последнего был разработан алгоритм определения фрактальной размерности, позволяющий классифицировать микроплазменный пробой по подтипам.

Фрактальный анализ и имитационное моделирование открывают возможности для дальнейшего исследования свойств самоподобия твердых тел.

Литература
  1. Грехов И.В., Сережкин Ю.Н. Лавинный пробой p-n-перехода в полупроводниках. Ленинград, Энергия, Ленингр. отд-ние, 1980, 152 с.
  2. Тагер А.С. Лавинно-пролетный диод и его применение в технике СВЧ. УФН, 1966, т. 90, вып. 4, с. 631–666.
  3. Ионычев В.К. Влияние глубоких центров на задержку лавинного пробоя p-n-перехода. Дис. ... канд. физ.-мат. наук. Саранск, Мордовский государственный университет им. Н.П. Огарева, 1999.
  4. Кюрегян А. С. Об ударной ионизации в полупроводниках в сильных электрических полях. ФТП, 1976, т. 10, с. 690–694.
  5. Воротков М.В., Скворцов Н.Н., Шашкина А.С. Фрактальные свойства микроплазменного шума. Инновационные технологии в медиаобразовании: матер. III Всерос. науч.-практ. конф. 27–28 марта 2015. Вып. 3. Cанкт-Петербург, СПбГИКиТ, 2015, с. 65–71.
  6. Khanin S.D., Shashkina A.S. Characterization of microplasma breakdown in semiconductor structures based on fractal analysis. Nanotechnology Science and Technology. Nova Science Publishers, inc., 2020, pp. 149–162.
  7. Шашкина А.С., Ханин С.Д. Самоорганизация дефектов в полупроводниках и методика её диагностики. Необратимые процессы в природе и технике: XI Всерос. конф.: тр.: в 2 ч. Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2021, с. 64–68.
  8. Schuber F. Light-emitting diodes Second edition. Cambridge, Cambridge University Press, 2006, 418 p.
Ваш браузер устарел и не обеспечивает полноценную и безопасную работу с сайтом.
Установите актуальную версию вашего браузера или одну из современных альтернатив.